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潔凈室的分類


    1.并裝局部潔凈室:將潔凈室等級 10,000~100,000 之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為 10~1000 級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈 工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺:等級 Class 1~100 級。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采 用獨立之 HEPA 或 ULPA 及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為 10~1000 級,高度在 2.5 米左右,覆蓋面積約 10m2 以下,四支支柱并加裝活動輪可為彈性運用。

    潔凈管道:將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至 100 級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到 良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界 及半導體業界均適用。
   
    2.復合式: 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

    3.層流式: 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形, 空氣由覆蓋率 100%之過濾器進入室內, 并 由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用,一般其 潔凈室等級為 Class 1~100。

其型式可分為三種:
    水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風, 塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。 

    垂直層流式:房間天花板完全以 ULPA 過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高 之潔凈度,在

制程中或工作人員所 產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。

    亂流式: 空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室, 并由潔凈室兩側 隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適 用于潔凈室等級 1,000-100,000 級。

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